貴金屬因具有良好的抗氧化性能、高的電導率、優異的催化活性以及使用中的高穩定性能,在基礎工業、高新技術及軍工宇航領域應用廣泛。但貴金屬資源量少,價格昂貴,在保障使用性能的條件下如何降低用量是業界關注的重要課題。使用薄膜或涂層代替整體材料是大幅降低用量的重要途徑。同時,薄膜材料厚度與其長度和寬度相比幾乎可以忽略不計,結構特殊且表面積大,除保持了貴金屬優異的物理化學性能外,還具有塊體狀材料所不具備的、特異的光學、電學、磁學,以及催化等性能,二者兼備,使其作為磁性材料、催化劑材料、光學材料、傳感材料、光電子功能材料,以及特種功能涂層等材料,得到了廣泛的應用。
薄膜與涂層在厚度尺寸上不同,在功能定位上也有所側重。一般來講,以薄膜材料使用時,其厚度通常小于25μm,最薄的可小于1μm,甚至是原子尺度上的二維材料。功能上更多地是利用其光、電、磁及催化等物理化學特性,開發各類特殊用途的功能薄膜材料。涂層的厚度比薄膜厚,主要功能是作為抗腐蝕和抗氧化的表面保護材料。
貴金屬的抗腐蝕性能、抗氧化性能及與常見氣體的反應情況詳見表1-3和表1-4。簡言之,銥、銠的抗化學腐蝕能力最強,粉末態或致密金屬甚至在加熱的情況下都不溶于各種酸和王水,也耐很多腐蝕性化學試劑的浸蝕,銀是貴金屬中耐蝕性最差的金屬。抗氧化能力最強的是銠和鉑,高溫下都很難氧化和揮發,最易氧化的是鋨、釕、鈀。貴金屬(銀除外)都耐硫及硫化物腐蝕,銀在潮濕的空氣中,易被硫或硫化物腐蝕生成硫化銀。詳細了解這些性質是研發及使用該類材料的基礎。
材料的腐蝕是一個普遍現象,貴金屬的耐腐蝕和抗氧化性并非意味著不腐蝕和不氧化,這與其存在狀態和使用狀態、使用環境和條件密切相關,其實是一個腐蝕和氧化速度及使用壽命問題。薄膜狀態其厚度僅微米級,若發生腐蝕和氧化不僅嚴重改變其使用性能,也影響其壽命。因此利用貴金屬薄膜特異的光、電、磁及催化性質開發相關的功能材料時,其使用目的、使用環境和條件、選擇何種金屬或合金、以什么工藝和技術制備薄膜、防蝕及防氧化設計等問題,是材料科學研究中必須兼顧的重要問題。
本章介紹各類貴金屬薄膜涂層材料,包括單種純貴金屬、合金及化合物薄膜,含貴金屬的雙層及多層膜,納米顆粒膜和復合膜的用途、性能及研發情況。同時還介紹各類材料的制備方法,如電鍍法、化學氣相沉積法(CVD)、物理氣相沉積法(PVD)、溶膠-凝膠法(Sol-gel)以及分子束外延等。